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微納加工平臺
湖南艾科威微納加工暨國產(chǎn)裝備驗證平臺以艾科威自主研發(fā)制造的國產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備為依托,致力打造華中地區(qū)國產(chǎn)裝備示范平臺及特色服務(wù)模式的公共開放平臺。同時搭建和企業(yè)、高校聯(lián)合攻關(guān),集“產(chǎn)、學(xué)、研”為一體的創(chuàng)新合作平臺。
平臺目前擁有300m2工藝實驗室面積,已配備了包括薄膜制備、材料刻蝕、膜厚檢測等常見的半導(dǎo)體工藝設(shè)備及測試儀器,提供相應(yīng)的工藝研發(fā)和科研服務(wù)。
平臺可根據(jù)客戶需求和任務(wù)性質(zhì),提供單步或系列工藝代工,項目負(fù)責(zé)人可親自或委派代表經(jīng)必要培訓(xùn)后在平臺進行工藝流程監(jiān)控或自行完成部分工藝。
平臺目前擁有300m2工藝實驗室面積,已配備了包括薄膜制備、材料刻蝕、膜厚檢測等常見的半導(dǎo)體工藝設(shè)備及測試儀器,提供相應(yīng)的工藝研發(fā)和科研服務(wù)。
平臺可根據(jù)客戶需求和任務(wù)性質(zhì),提供單步或系列工藝代工,項目負(fù)責(zé)人可親自或委派代表經(jīng)必要培訓(xùn)后在平臺進行工藝流程監(jiān)控或自行完成部分工藝。
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湖南艾科威半導(dǎo)體裝備有限公司微納加工實驗室建有完善的千級潔凈室,擁有磁控濺射鍍膜設(shè)備(MSC)1臺,反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備(RIE)1臺,離子束刻蝕設(shè)備(IBE)1臺,臥式氧化爐1臺,臥式擴散爐1臺,立式擴散退火爐1臺。 工藝線可以滿足硅材料、化合物半導(dǎo)體等材料的芯片加工和表征測試需求。工藝線可以滿足微納加工教學(xué)和人才培養(yǎng)及微納加工技術(shù)服務(wù)需求。
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